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69-504-FEF氟气过滤器

文字:[大][中][小] 2016-7-7    浏览次数:999    

69-504-FEF氟气过滤器

69系列氟气过滤器属于干式过滤器,外壳A12铝材质,两端接头管1Cr18Ni9Ti不锈钢材质,推荐使用卡套螺母与其他管路连接。专门用于过滤准分子激光器中气体体积含量小于5%的氟气。混合气经过过滤器吸收氟气后直接排放大气。建议过滤器安装在真空泵进气口处。任意一端作为进气口。

规格

大小:Φ69mm x 504mm(直径x长度)

最大工作压力:1Mpa(绝对压力)

过滤器密封方式:O型圈密封


其他:

Model NO.

封装材料

重量

F2过滤能力

真空泵最大流量

69-504-FEF

外壳A12

接头1Cr18Ni9Ti

50 L

68L/min


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